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第105章 第105章（第1页）

“我们都知道，高端芯片集成了百万晶体管，层层嵌套，图案极度复杂。国外极紫外光刻采用的是类似投影式的原理，一次投影曝光就能刻出一层图案”，景明站在台上，手上的粉笔写的飞快。

“所以只需要数次曝光就能够光刻出一枚高端芯片，这是他们远胜于我们的地方能光刻复杂图案”。

底下坐着的二十几名研究生纷纷叹气。

这是开组会的会议室，此刻被景明征用来上课以及分配任务。

“而我们所做的s光刻机用的是近场直写，最大的问题就是没办法刻复杂图形。以我们第一阶段的s光刻机为例，目前为止我们仅仅能够用s刻出一条直线”。

下一刻，景明淡定地在黑板上画了个五角星，然后他在这个五角星上打了一个大大的叉。

“s光刻机刻得了直线，但刻不出一个五角星”，景明说着，在众人哀叹的眼光中扔下了粉笔，转过身。

“所以这就是我们二试要做的事情，刻出复杂图案”。

全场寂静无声。

所有人都知道，用一根探针刻一条直线，到刻出一个五角星来，这难度，简直提升了百倍。

更别提他们要刻的不是五角星，而是复杂了百万倍的图案。

“不要灰心”，景明还挺淡定的，“s光刻有着比极紫外更卓越的优势，只要研制成功，我们就能随意刻制任何图形”。

“此外，由于我们是直写光刻，所以我们不需要重重掩膜、曝光，也就不用研光刻胶，这可以省下许多人手和经费”。

“最后，我们的光源非常廉价，几十万块的汞灯所的能量就足够了，不像极紫外光刻机，由于功率要求太高，光源就要造价几千万”。

景明笑道，“往大了里说，s光刻机前途宽广，只要研成功，足够打破目前国际半导体格局，足以让我们占据上游市场，赚到国外的钱”。

“往小了里说，要是能研出来，你们将来想文、找教职工作，肯定不愁了”

台下众人顿时精神奕奕，无论如何，景明画出来的大饼还是很香的。

“好”，景明点点头，“那接下来，我来说一下第二阶段的工作思路”。

“我们目前的探针只有一根，无法光刻复杂图案。所以自然而然衍生一条思路，增加探针，也就是所谓的点阵技术”。

“景明”，谭海峰作为大师兄，率先举了个手。

“点阵技术听上去很好，但是有一个最大的问题，那么多根探针聚合起来，高频直写时一定会相互影响，生姿态偏移”。

“对”，景明点点头，然后他转身在黑板上写下了一连串词汇。

“位移载荷”、“摩擦阻力”、“光刻度”

“这些是我觉得会影响到姿态偏移的因素，也就是探针一组的实验内容，研究探针聚合时的形变因素”。

“我也有问题”，孙静舒脸色严肃，“探针聚合时光衰减，磁场很可能生改变，到时候我们的光刻结构全都需要重新研”。

“这部分的理论计算我来做”，景明冷静道，“大概一周左右，我会将整个光路的理论值给你们，包括球冠面特征尺寸、透镜曲率、频谱分布等等”。

“等会儿，我也要问”。

“要想达成聚合效果，就得放大倏逝波，可目前为止我们的倏逝波已经放到最大了，根本没办法继续增大了，你打算怎么做”

“调整离轴照明的频谱分布”

“等一下，我还没问呢”

这一场组会，从早上八点，开到了中午，众人一窝蜂涌去了食堂，有的甚至揣了俩包子，又紧赶慢赶地跑回来。

激烈的争吵声一直没有断绝过。

在学术上，没有人会顾忌景明是国际大奖的得主，毕竟一旦失败，洒出来的经费就有几千万，谁经得起这么造。

他们的机会极有可能只有这一次。

于是他们绞尽脑汁，尖锐的问题宛如利刃，纷纷刺向景明。