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宗仕刚让人去通知暂停厂里所有的设备,没过多久,整个苏硅半导体忽然安静下来,气氛变得莫名诡异,所有人都不再说话,路阳轻声说了句,“开始吧!”
光刻机再次启动,相同的流程,涂布、曝光、显影、电镀,时间缓缓流逝,奇怪的是路阳心中却不再紧张,他有种莫名的直觉,念念不忘,必有回想。
工程师拿出刻满芯片的晶圆放到检测台上,就像开车需要磨合一样,也许光刻机也需要磨合呢,众人再次对结果期待起来。
半小时过后,工程师直接奔向专家组所在的房间,这次是用跑的。
“前1oo片芯片良品率,85%!”
轰!所有人如被雷击中般,呆立当场,只有工程师急促的呼吸声。
一个专家颤颤巍巍的声音响起:“我没听错?85%,你再说次!”
“苏硅半导体45纳米座舱芯片,前1oo片流片良品率85%!”
哗!不知是谁起的头,所有人掌声响起,掌声雷动,看向路阳,无论他是施了什么魔法,这良品率注定刻入华国芯片制造史。
“路总,你这是如何做到的?”廖锡昌问道,他替所有人把心中所想问说了出来。
路阳自不会隐瞒,之前他也没百分百把握,系统给的“轻微震荡波动”提示,让他想起曾经制作的一则视频,光刻机的选址必须远离地震多带,哪怕是小于2.5级,人感觉不到的地震都不行。
“最近厂区都在赶工,硅片车间距离这里不远,可能会有共振影响。”
众人恍然大悟,廖锡昌接着说道:“不错,路总有着做科研的直觉,只是这样一来,确实麻烦了,两边不能同时开启的话。”
“防微振设计是哪家做的?”路阳回头问宗仕刚,问题应该出自于此。
宗仕刚却显尴尬,看向廖锡昌,好嘛,原来是申城微电子做的。
“可能是由于改造的原因,验收的时候,数据也是合格的。”
廖锡昌明白过来,“数据合格并不表示没有共振,看来我们的工程师还是不够细心,回头我一定让那边做深刻的检讨。”
“整改往往比新建更耗时,还望廖总这边给出方案,彻底解决这个问题,时间才是我们最宝贵的东西。”
路阳说话一向直接,不会给谁面子。
于是专家们又有了新的方向,不解决共振问题,结果便不再完美,直挠心扉,做科研的最怕这个。
好在最后的15oo片检测结果出来,最终良品率82%,淡化了低沉的气氛。
周怀义跟宗仕刚还是做了次简单的庆功宴,把专家都请了过去。
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这种场合一向是周怀义坐镇,路阳更喜欢跟抛光液调制的工程师们待一起。
“常生哥,我们现在12英寸硅片的技术究竟卡在什么地方?”
路阳问道,生产线这边建好都快半个月了,测试一直失败。
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