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第215章 SSMB－EUV（第1页）

廖老带着路阳来到实验室时，门外就听到了柴文政与丁冉的争论，不时夹杂着老教授温和的嗓音。

“马上进中旬了，组装实验为什么不行？也不影响你这边，就在隔壁做一个无尘空间出来放置euV光刻机。”丁冉的话音越说越大。

“我们现在本来就是两个小组在倒班，人员就分配不过来，而且euV哪是这么轻易能组装的，装好后的调整工作量更大，丁冉，我们现在没时间走弯路了。”柴文政丝毫不退让。

“弯路？你怎么确认这是弯路，现在的实验模型，要么是击打均衡问题，要么是镜片吸收比例问题，要么是光路布置问题，每一项我们都追踪了无数次，既然如此我们为什么不大胆假设就是空间其他未知吸收光源。”

老教授似乎是在劝解两人，“文政、丁冉，大家都目的是一样的，冷静些，为什么不同时进行？”

柴文政立刻说道，“两个原因，人员分配问题，现在大家轮班已经很辛苦了，再独立分开，实验会被分散，第二个原因是光刻机的组装最少需要1o天时间，如果再算上监测设备，半个月就没了。”

听到这里廖老带着路阳走进实验室，看到廖老进来，室内的二十几名研究人员稍稍松了口气，这次的争论程度远任何时候。

“大家都很有精神嘛，这位大家应该都熟悉吧，我的学生，路阳！”廖老笑着给众人介绍道。

柴文政跟丁冉都是老熟人，廖老直接给路阳介绍起老教授，“这位是清大紫光的祁海义教授，这次多亏了祁教授跟他的团队，帮我们不少的忙。”

路阳赶紧上前跟老人握手，“祁教授辛苦了，您叫我小路就好，柴教授，丁教授，还有各位同事，大家都辛苦了。”

“路总不一般呐，为我们争了口气，华芯能有今天的成果，你功不可没。”祁海义的声音充满学者气息，语不急不缓。

实验室内众人激动起来，华芯最近的新闻他们早已知晓，路阳的名字更是如雷贯耳。

柴文政跟路阳随便打了个招呼，立刻说道，“廖老您来的正好，劝劝丁冉。”

路阳默默退了半步，站到廖老侧后方，廖老心情不错，“文政啊，我在门口就听到了，其实你争论的核心我都明白，当我们全身心在投入一个项目时，思维惯性会导致我们的精力集中在一个点，当然集中也不是坏事，现在表面看起来，都觉得自己非常冷静，有无数的理论来支持自己。”

“你看你，又熬夜了吧，眼睛都有血丝了，先去睡一觉，休息好再说，这件事不一定非要现在争出个结果。”

今天轮到丁冉负责，大清早过来接班，说着说着就争论了起来。

廖老看了她一眼，“小冉，你也冷静下！好了，昨天通宵的同事先回去睡觉，下午我们再来讨论这个事情。”

众人散去后，丁冉也开始了今天的实验，模型是她提议的，现在要选另外一条路，她心中也不好受。

安排好工作，丁冉对路阳苦笑道，“路总，让您见笑了！我跟文政合作多年，这种争论再正常不过，他睡醒就好了。”

路阳稍稍点头表示理解，“我记得这个实验模型当初是您提出来的，在当时那种条件下能想到简化实验可是提升了不小的进度。”

“是啊，之前没拿到模型，我们主要方向就是镜片的吸光测试与光路布置，也算是把镜片再次做了验证，所以我坚决认为镜片方面不会出现问题。”

廖老说道，“行了，忙去吧！”

说完又看向祁海义，“去我办公室坐坐，缓一缓，喝口茶，看你样子也是一晚没睡。”

“人老了，睡眠少，昨天在实验室小睡了2个小时，今天见到小路，精神更好了。”

廖老有意不让路阳在实验室多待，怕他生出不该有的心思。

路阳看着里面的光路布置出神，前世他看过asmL的演示视频，内部结构确实跟这个很像，极紫外光的吸收问题可是拦住了科学家好几年。

“小路！”

路阳回过神来，“哦，来了！”

三人来到办公室，梁圆烧水泡茶，祁海义很是热情，“早在清大就听吴总提过你几次，刚来申城时还跟老于吃过几次饭，对你他们都是极为倾佩的。”

“您过奖了，我也只能做些力所能及的辅助工作罢了。”

廖老忽然说道，“老祁，听说清大启动了ssmb项目？”

“哦，那是唐教授那边负责的光学项目，是一种稳态微聚束加器光源，老唐也不容易，十几年了，现在才立项。”

路阳一听是光学项目，来了兴趣，立刻问道，“这个项目跟euV有关系？”

祁海义见路阳感兴趣，也乐得充当介绍人，说不定还能给老唐拉些研究经费。

“是有些关系，ssmb就是稳态微聚束，可以用于制备各种大功率窄带宽的相干辐射光，用于科研与工业场景，理论上，一旦这种技术研成功，那么就能通过一套装置稳定提供duV，euV的各种稳定光源。”

卧槽，这么牛？路阳可没听过，但隐隐感觉到这东西很有可能颠覆光刻机啊，要知道光刻机为什么要叫光刻，光就是基础啊，如果一套设备能制备各种类型的光用于雕刻，那不是要飞天？

根据瑞利判据，要提高光刻机的分辨率，就必须缩短光的波长，duV使用的就是193纳米的深紫外光，euV则是13.5纳米，为了获得这个级别的波长，那简直是绞尽科学家们的脑汁。

asmL的13.5纳米极紫外光是如何产生呢？

原理也并不复杂，先用电流给二氧化碳介质通电，让其进入高能态产生红外激光，然后用这个激光来轰击液态锡，让其进入到高能等离子体状态，在等离子体冷却时就会射出13.5纳米波长的极紫外光，asmL给这个技术取名叫Lpp-euV。

现在实验室用的光源是大连光源结合多家研究室明的dpp-euV，原理上是一样的。

但清大的这个思路，完全又是另一种路线了了，如果这位唐教授的ssmb技术能用于光刻机，那不就是ssmb-euV了吗？